4月29日,據(jù)韓媒The Elec,韓國仁荷大學教授Joo Seung-hwan在首爾舉行的先進封裝(886009)技術會議上透露,通過分析專利發(fā)現(xiàn),荷蘭光刻機(886054)巨頭阿斯麥(ASML)可能正利用其旗艦光刻平臺Twinscan的技術積累,研發(fā)晶圓對晶圓(W2W)混合鍵合設備。Twinscan平臺憑借雙晶圓臺設計大幅提升了制造效率,若將此技術遷移至W2W混合鍵合設備,可望顯著縮短兩片晶圓直接鍵合的生產(chǎn)周期(883436)。這一最新動向預示阿斯麥(ASML)試圖將其在光刻領域的統(tǒng)治力延伸至封裝環(huán)節(jié)。
