上證報(bào)中國(guó)證券網(wǎng)訊(記者韓遠(yuǎn)飛)4月29日，中科儀正式在北交所上市。公司本次發(fā)行價(jià)格為16.21元/股，開盤價(jià)為61元/股。
資料顯示，中科儀是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體（881121）制造設(shè)備核心部件提供商及真空科學(xué)儀器設(shè)備供應(yīng)商，主營(yíng)業(yè)務(wù)為干式真空泵和真空科學(xué)儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售，及相關(guān)技術(shù)服務(wù)。公司募集資金約8.25億元，擬投資項(xiàng)目為干式真空泵產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項(xiàng)目、高端半導(dǎo)體設(shè)備（884229）擴(kuò)產(chǎn)及研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目、新一代干式真空泵及大抽速干式螺桿泵研發(fā)項(xiàng)目。
作為中國(guó)科學(xué)院下屬專注于潔凈真空、超高真空技術(shù)研究和發(fā)展的企業(yè)，公司擁有真空技術(shù)裝備國(guó)家工程研究中心、國(guó)家真空儀器裝置工程技術(shù)研究中心、國(guó)家企業(yè)技術(shù)中心三個(gè)國(guó)家級(jí)研發(fā)平臺(tái)，是我國(guó)真空技術(shù)及真空類科學(xué)儀器攻堅(jiān)的主力軍；公司及其前身先后獲國(guó)家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步特等、一等、二等、三等獎(jiǎng)共6項(xiàng)。
干式真空泵領(lǐng)域，公司的干式真空泵產(chǎn)品滿足14nm先進(jìn)邏輯芯片以及128層及以上3D NAND等存儲(chǔ)器工藝的生產(chǎn)需要，已在中國(guó)各領(lǐng)先晶圓制造企業(yè)實(shí)現(xiàn)大批量應(yīng)用，廣泛支持國(guó)內(nèi)主流晶圓制造企業(yè)，以及客戶A等國(guó)內(nèi)主流集成電路設(shè)備制造企業(yè)，并已通過(guò)臺(tái)積電（TSM）(TSM)、大連Intel、SK海力士的測(cè)試驗(yàn)證實(shí)現(xiàn)小批量出貨。除硅基半導(dǎo)體（881121）外，公司干式真空泵產(chǎn)品也可廣泛應(yīng)用于碳化硅、砷化鎵等化合物半導(dǎo)體（881121）的制備，并已實(shí)現(xiàn)批量交付。
真空科學(xué)儀器設(shè)備領(lǐng)域，公司先后承擔(dān)北京正負(fù)電子對(duì)撞機(jī)、蘭州重離子加速器、合肥國(guó)家同步輻射裝置、上海三代光源、北京高能同步輻射光源、上海硬X射線自由電子激光裝置等11項(xiàng)國(guó)家重大科技基礎(chǔ)設(shè)施的建設(shè)工作，是我國(guó)大科學(xué)裝置關(guān)鍵真空部件光束線、波蕩器、前端區(qū)等的最主要研制單位，其中公司作為上海光源主要參與者，于2013年獲得國(guó)家科技進(jìn)步獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)。另外，公司前身成功研制了第一臺(tái)國(guó)產(chǎn)分子束外延設(shè)備(MBE)，在科研用MBE設(shè)備研制領(lǐng)域居于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先地位。
